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單晶車間事故應(yīng)急方案
一.供電公司計(jì)劃停電（檢修設(shè)施，計(jì)劃供電等）
針對(duì)以上情況，需要注意以下幾個(gè)方面： 1、供電公司必須提前二天通知公司配電負(fù)責(zé)人， 確定停電，送電的時(shí)間及停電的線路等；公司配電 負(fù)責(zé)人通過行政辦向相關(guān)部門發(fā)文通知； 2、單晶車間根據(jù)單晶爐的每爐拉晶時(shí)間，決定 各爐的停爐時(shí)間，在停電之前5小時(shí)必須停爐冷卻， 防止停電時(shí)爐體過熱。 3、停電時(shí)，相關(guān)部門安排人員仔細(xì)檢查電器， 供水系統(tǒng)是否正常，單晶車間對(duì)單晶爐進(jìn)行維修保 養(yǎng)。
二.突發(fā)性停電
在正常生產(chǎn)過程中出現(xiàn)突然斷電，當(dāng)班組長(zhǎng)首先保持冷靜， 做出正確指揮 1.班組長(zhǎng)工作內(nèi)容： 發(fā)生斷電后立即前往一樓開啟備用電源（指定熟悉備用電源 的員工），在備用電源也無電時(shí)，立即啟動(dòng)柴油發(fā)電機(jī)，啟 動(dòng)后觀察發(fā)電機(jī)電壓380V穩(wěn)定后，合上送電開關(guān)。保證冷 卻水的正常供應(yīng)。 送水后指導(dǎo)輔助工協(xié)同操作工注意各爐臺(tái)水壓變化，水壓在 2.5-3.0，如有異常及時(shí)上報(bào)班長(zhǎng)及相關(guān)部門。 在一樓送電的同時(shí)，組織現(xiàn)場(chǎng)搶救工作，各爐臺(tái)操作工處理 好自己的爐臺(tái)，檢查是否處理得當(dāng)。 等待來電的同時(shí)安排好崗位工作，操作看好爐內(nèi)變化記錄結(jié) 晶時(shí)間。
停電時(shí)采取的措施：
若爐子工作時(shí)，加熱部分停電：
1、在控制面板上點(diǎn)擊工序重置【此時(shí) UPS自動(dòng)供電給 籽晶馬達(dá)，坩堝馬達(dá)。在自動(dòng)狀態(tài)下(在引晶之后)：180S之 后，籽晶自動(dòng)上升100mm，坩堝自動(dòng)下降50mm。但是在 180S之內(nèi)退出自動(dòng)或在手動(dòng)狀態(tài)下則不會(huì)有以上動(dòng)作�！� 使其轉(zhuǎn)換為手動(dòng)狀態(tài),關(guān)閉所有轉(zhuǎn)動(dòng)開關(guān),降低堝位50mm左 右,,使晶體脫離液面.加熱電源轉(zhuǎn)換為功率控制，然后將功率 調(diào)整至零。 2、如果斷電時(shí)間較短,液面未結(jié)晶或已結(jié)晶且小于4分 鐘則重啟加熱電源,將功率慢慢的升至熔料功率融化結(jié)晶面 如果晶體長(zhǎng)度小于我們規(guī)定的長(zhǎng)度,則進(jìn)行回熔處理,如果大 于規(guī)定的長(zhǎng)度則按照一段標(biāo)準(zhǔn)取出,然后在進(jìn)行引晶等工作。
控制電源斷電的處理方法：
1、控制電源斷電; 在控制面板上點(diǎn)擊工序重置，使其轉(zhuǎn)換為手動(dòng)狀態(tài)， 降堝位50mm左右,使晶體脫離液面. 2、如果控制電源無法恢復(fù)供電, 當(dāng)不能及時(shí)恢復(fù)通電時(shí)，則必須關(guān)閉 加熱器，關(guān)閉S/L、S/R 、C/L、C/R，提升晶棒脫離液面，升高坩堝 位置（液面結(jié)晶后半小時(shí)頂起熱屏），充氬氣至常壓自然冷卻。 3、控制電源恢復(fù)供電, 液面未結(jié)晶或已結(jié)晶且小于4分鐘則重啟加熱 電源,將功率慢慢的升至熔料功率融化結(jié)晶面，打開S/L、S/R 、C/L、 C/R，在打開S/R晶轉(zhuǎn) 和C/R堝轉(zhuǎn)之前確保S/R 和C/R電位器處于零位。 如果我們等徑長(zhǎng)度大于規(guī)定的長(zhǎng)度則按照一段標(biāo)準(zhǔn)取出,然后在進(jìn)行引 晶等工作, 如果晶體長(zhǎng)度小于我們規(guī)定的長(zhǎng)度,則進(jìn)行回熔處理
三.來電后班組長(zhǎng)現(xiàn)場(chǎng)指揮工作：
a.電源恢復(fù)時(shí)，立即開真空泵，待半分鐘后開抽空閥門，將氬氣流量恢 復(fù)正常。 b．若時(shí)間較短（液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10 分鐘且石英坩堝 未破），按加熱 功率開，將功率升至熔料功率。 c．若時(shí)間較短（液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10 分鐘且石英坩堝 未破），按加熱 功率開，將功率升至熔料功率。 d．熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生硅 液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。 e．晶體處理同晶變單晶一致，待結(jié)晶全熔后，手動(dòng)調(diào)節(jié)功率為引晶功 率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶作業(yè)。 f．若停電時(shí)間較長(zhǎng)（液面結(jié)晶已經(jīng)大于10 分鐘或石英坩堝破裂），快 速提升晶體或 籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。 g．在熔體結(jié)晶40分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒 100mm(堝內(nèi)原料不足30kg不必頂起)。停爐，充分冷卻后拆爐。
重點(diǎn)提示：如若顯示電腦控制面板和加熱部分電源一起出現(xiàn)斷電，操作員工應(yīng) 該頭腦冷靜，必須在2分鐘內(nèi)關(guān)閉爐臺(tái) 下部氬氣球閥，防止?fàn)t臺(tái)副室門自動(dòng)沖 開，引起重大事故。
漏硅的應(yīng)急處理：
1．立即關(guān)閉功率。 2．退出控制柜面板上單晶生長(zhǎng)控制器，使其處于手動(dòng)狀態(tài)。 3．關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。 4．快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。 5．在熔體結(jié)晶40分鐘時(shí)，如有可能，快速提升坩堝，使坩 堝頂起導(dǎo)流筒100mm。 6. 關(guān)閉真空泵抽氣蝶閥，防止硅液進(jìn)入管道，開啟副室球 閥進(jìn)行抽空，等液面結(jié)晶后再開啟主室蝶閥，關(guān)閉副室蝶閥。 7. 檢查各處電線是否緊靠著受熱抽空管道，防止引起電線明 火。 8.停爐，充分冷卻后拆爐。
重點(diǎn)提示：做好前幾步后，氬氣充到常壓的一半左右，使其自然冷卻，處理完成后去 爐臺(tái)下觀察坩堝軸波紋管是否破裂漏硅，真 空管道、波紋管邊上是否有電線緊挨住，有 無起火等安全隱患，其它地方也要仔細(xì)觀察， 如有異常及時(shí)做出處理。
停水事故（供水設(shè)備故障，水泵控制電路 故障，管路故障，水池缺水，停電）
發(fā)生停水時(shí)采取的措施： 發(fā)生停水時(shí)，立即打開停水爐子的事故水進(jìn)水閥（一般為消 防水，）。 1.當(dāng)爐臺(tái)水壓不夠或完全停止的時(shí)候，爐臺(tái)會(huì)做出自我保護(hù) 措施停止加熱從而出現(xiàn)DC電源打火報(bào)警. 2.如果水壓不能及時(shí)恢復(fù),在等徑的爐臺(tái)立即將晶棒與液面脫 離,防止結(jié)晶.關(guān)閉晶轉(zhuǎn)鍋轉(zhuǎn). 3.加大氬氣流量,蝶閥全部打開,加速冷卻. 4.如果結(jié)晶時(shí)間超過15分鐘原料較多的爐臺(tái)將導(dǎo)流筒頂起, 石英坩堝不可頂?shù)酱笊w,防止硅料膨脹后把大蓋漲壞. 做好上續(xù)措施后水壓還未恢復(fù)的時(shí)候要仔細(xì)觀察爐臺(tái)。 停 水后水壓恢復(fù)：
1.冷卻水恢復(fù)供應(yīng)時(shí)，關(guān)閉事故水閥門，監(jiān)控水壓，有異常立即報(bào) 告管理人員。 2.水壓恢復(fù)時(shí)，爐內(nèi)無氧化現(xiàn)象，熔體未結(jié)晶或已結(jié)晶但液面結(jié)晶 小于4分鐘且石英坩堝未破裂，按加熱功率開，調(diào)節(jié)功率到熔料功率。 3.啟動(dòng)堝轉(zhuǎn)，設(shè)定為1轉(zhuǎn)/分，打開堝轉(zhuǎn)前，確保堝轉(zhuǎn)電位器處于零 位。 4 .熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切爐內(nèi)有無氧化現(xiàn)象，注意硅料液面 熔化情況，一旦發(fā)生氧化現(xiàn)象、硅液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。 5.晶體處理同晶變單晶一致，待結(jié)晶全熔后，手動(dòng)調(diào)節(jié)功率為引晶 功率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶。 停水后水壓無法恢復(fù)，或恢復(fù)時(shí)熔體已結(jié)晶大于4分鐘。 1.快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。 2.在熔體結(jié)晶40分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。 3.停爐，充分冷卻后拆爐。
一．把停水的原因查清進(jìn)行處理，同時(shí)向相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)（直屬上 級(jí)）和相關(guān)部門（設(shè)備部，安全辦）進(jìn)行報(bào)告； 二．在事故發(fā)生時(shí)，安全員，外圍設(shè)備操作工，單晶班長(zhǎng)和 單晶員工各司其責(zé)，有條不紊的進(jìn)行處理，不要造成不必要 的混亂； 三．一般停水事故會(huì)發(fā)生在以下幾個(gè)方面：一，水泵故障停 水（啟動(dòng)備用水泵）；二，水池缺水（關(guān)閉進(jìn)水閥門，向進(jìn) 水管道中補(bǔ)充應(yīng)急水；另一方面，向水池補(bǔ)充ao水，恢復(fù)正 常生產(chǎn)）；三，管道系統(tǒng)中出現(xiàn)泄漏；盡量堵漏等停爐后進(jìn) 行維修； 四．事故解決后，要認(rèn)真檢查水，電，氣等的各類參數(shù)，確 定沒有問題，開始正常生產(chǎn)；
石墨坩堝裂開時(shí)采取措施：
1．石墨坩堝裂開可觀察電壓電流表狀態(tài)，是否有抖動(dòng)現(xiàn)象。 2．有抖動(dòng)現(xiàn)象說明與加熱器相擦，應(yīng)立即關(guān)閉功率。 3．退出控制柜面板上單晶生長(zhǎng)自動(dòng)控制器，使其處于手動(dòng) 狀態(tài)。 4．關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。 5．快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。 6．在熔體結(jié)晶40分鐘，如有可能，快速提升坩堝，使坩堝 頂起導(dǎo)流筒100mm。 7．停爐，充分冷卻后拆爐。
爐內(nèi)漏水或觀察窗玻璃裂開：
1．當(dāng)爐內(nèi)出現(xiàn)大量漏水或觀察窗玻璃裂開時(shí)，則立即關(guān)閉 功率。 2．關(guān)閉所漏部位的水源，關(guān)閉閥門及真空泵，對(duì)爐內(nèi)進(jìn)行 充氬氣至50KPa左右，關(guān)閉氬氣。若觀察窗玻璃裂開時(shí)確認(rèn) 爐內(nèi)未出現(xiàn)大量漏水可不關(guān)閉閥門及真空泵蝶閥但要隨時(shí)觀 察爐內(nèi)情況，以采取應(yīng)急措施。 3．退出自動(dòng)控制柜面板上單晶生長(zhǎng)控制器，使其處于手動(dòng) 狀態(tài)。 4．關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。 5．快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。 6．在熔體結(jié)晶40分鐘時(shí)，如有可能，快速提升坩堝，使坩 堝頂起導(dǎo)流筒100mm。 7．停爐，充分冷卻后拆爐
電器短路起火（用電負(fù)荷過大，接線松脫，電 器內(nèi)灰塵，雜物過多） ? 1.當(dāng)電器起火時(shí)，首先關(guān)閉控制電器的電源 總開關(guān)， ? 2.如有明火時(shí)，用干粉滅火器撲滅， ? 3.按照實(shí)際情況進(jìn)行修理或更換； ? 4.故障排除后，經(jīng)檢查無誤再恢復(fù)生產(chǎn)；
工傷事故（一般車間工傷事故，酸洗車間工傷事故）
a. 1.一般車間發(fā)生工傷事故后，由當(dāng)班管理人員向安全員匯報(bào)，同時(shí)向直 屬上級(jí)領(lǐng)導(dǎo)進(jìn)行匯報(bào)， 2.在等待安全員到達(dá)的同時(shí)，進(jìn)行必要的施救； 3.如遇情況危急，可在安全員未到現(xiàn)場(chǎng)情況下，送患者去醫(yī)院搶救； 4.安全員到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)處理時(shí)，所有人員必須聽從安全員的指揮； 5.在安全員了解事故情況時(shí)，相關(guān)人員必須如實(shí)回答，不得欺騙，隱瞞； 6.在事故沒有完全結(jié)束時(shí)，安全員要隨時(shí)關(guān)注事情的進(jìn)展，并對(duì)相關(guān)人 員進(jìn)行反饋； 7.當(dāng)事故結(jié)束后，安全員應(yīng)召集相關(guān)人員開安全事故鑒定會(huì)，對(duì)相關(guān)事 宜進(jìn)行處理；
b.1.當(dāng)酸洗車間發(fā)生化學(xué)品以身體接觸造成事故，首先，立即 用大量清水沖洗患處 10-20分鐘，用毛巾擦干水漬，在患處涂上藥膏； 2.事故發(fā)生時(shí)，由當(dāng)班管理人員向安全員匯報(bào)，同時(shí)向直屬 上級(jí)領(lǐng)導(dǎo)進(jìn)行匯報(bào)； 3. 在等待安全員到達(dá)的同時(shí)，進(jìn)行必要的施救； 4. .如遇情況危急，可在安全員未到現(xiàn)場(chǎng)情況下，送患者去醫(yī) 院搶救； .5. 安全員到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)處理時(shí)，所有人員必須聽從安全員的指揮； 6..在安全員了解事故情況時(shí)，相關(guān)人員必須如實(shí)回答，不得 欺騙，隱瞞； 7. 在事故沒有完全結(jié)束時(shí)，安全員要隨時(shí)關(guān)注事情的進(jìn)展， 并對(duì)相關(guān)人員進(jìn)行反饋 8. .當(dāng)事故結(jié)束后，安全員應(yīng)召集相關(guān)人員開安全事故鑒定會(huì)， 對(duì)相關(guān)事宜進(jìn)行處理；
后語
其實(shí)在單晶車間出現(xiàn)事故并不可怕，可怕的 是班組長(zhǎng)不懂得如何對(duì)事故進(jìn)行應(yīng)急，以減 少事故本身帶來的損失。因此對(duì)車間班組長(zhǎng)事故應(yīng)急指揮，車間操作 員工的安全應(yīng)急預(yù)案培訓(xùn)必須嚴(yán)格落實(shí)，每 周必須培訓(xùn)，每月進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)急操作考核。
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